基本信息
| 标准名称： | 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定 |
| 英文名称： | Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution |
| 中标分类： | 化工 >> 化工综合 >> 基础标准与通用方法 |
| ICS分类： | 化工技术 >> 分析化学 >> 化学分析 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2012-07-31 |
| 实施日期： | 2013-02-01 |
| 首发日期： | 2012-07-31 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 提出单位： | 全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 归口单位： | 全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 起草单位： | 上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心 |
| 起草人： | 徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2013-02-01 |
| 页数： | 24页 |
适用范围
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm 的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm 的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm 的仪器。
附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
前言
没有内容
目录
前言 Ⅰ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语、定义、符号和缩略语 1 4 一般信息 2 5 直边法测量横向分辨率 3 6 栅格法测量横向分辨率 8 7 金岛法测量横向分辨率 10 附录A (资料性附录) 带聚焦X射线束斑的XPS仪器横向分辨率测定 14 附录B(资料性附录) 二次电子线扫描谱横向分辨率测定 16 附录C (资料性附录) 俄歇电子线扫描谱横向分辨率测定 17 参考文献 19
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇(ISO18115:2001,IDT)
所属分类： 化工 化工综合 基础标准与通用方法 化工技术 分析化学 化学分析