ASTM F1049-2002 探测硅片表面浅蚀坑的标准试验方法

时间:2024-05-20 08:02:28 来源: 标准资料网 作者:标准资料网 阅读:9757
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【英文标准名称】:StandardPracticeforShallowEtchPitDetectiononSiliconWafers
【原文标准名称】:探测硅片表面浅蚀坑的标准试验方法
【标准号】:ASTMF1049-2002
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(Practice)
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验;电子工程;硅氧烷
【英文主题词】:epitaxial;oxidation;preferentialetch;saucerpit;shallowetchpit;silicon
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thispracticeisusedtodetectshallowetchpits,whichmayberelatedtothelevelofmetallicimpuritiesnearthesurfaceofsiliconepitaxialorpolishedwafers.1.2This
【中国标准分类号】:H25
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:4P.;A4
【正文语种】:


基本信息
标准名称:网架结构技术规程
中标分类: 工程建设 >> 工程结构 >> 金属结构工程
替代情况:被DG/TJ 08-52-2004代替
发布日期:1997-01-23
实施日期:1996-07-01
首发日期:
作废日期:2005-03-01
出版日期:
页数:92页
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所属分类: 工程建设 工程结构 金属结构工程
【英文标准名称】:DigitalVideoBroadcasting(DVB)-DVBspecificationfordatabroadcasting(EndorsementoftheEnglishversionEN301192V1.3.1(2003-05)asGermanstandard)
【原文标准名称】:数字电视广播(DVB).数字广播用DVB规范
【标准号】:DINEN301192-2003
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:2003-09
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:规范;电信;数字电视广播;数字信号;数字的;电视广播;数据传送;电视;数字工程;接收机;数字电视;电视传输;电气工程;广播;电视接收;DVB数字电视广播;电视信号
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:M74
【国际标准分类号】:33_170
【页数】:1P;A4
【正文语种】:德语